台式LIBS激光诱导击穿光谱仪的技术参数

台式LIBS 激光诱导击穿光谱仪的技术参数如下：

元素测量范围：原子序数Z>=1 (包括C, H, O等有机元素，以及N, Li, Be, B等轻元素，以及几乎所有金属、非金属元素)

浓度范围：10ppm至%级别（取决于元素及仪器配置）

分析时间：一般20s左右

样品形态：固体或粉末（粉末需要压片后测量）。直接测量，无需特别的样品制备

样品放置及定位：XYZ三轴可自由定位样品台，并可以以微米为单位**位置定位

样品成像：双镜头配置。广角镜头用于大视野观察，高倍放大镜头用于微观**定位

*低样品质量：~100pg至10 μg（取决于样品）

*大样品尺寸：约12.7cm x 22.8cm x 12.7cm

分析光斑尺寸：光斑大小可调。*小：<10μm（取决于激光器），*大：500μm

分析深度：~1 - 100μm，取决于材料材质及激光器能量设置

激光能量计量：0~400mJ/脉冲+/-5%，可调

激光器：Nd:YAG，1064nm波长，200mJ/脉冲，266nm波长，50mJ/脉冲

光谱探测器：4通道或7通道宽频光谱仪（波长λ = 190 - 950），Echelle中阶梯iCCD高分辨率光谱仪（波长λ = 200 - 900）。

所需气体：分析C, N, H, O等有机元素时需要少量的氩气或氦气作为保护气

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